ART系列气浮转台
ART系列气浮转台采用了精密气浮轴承、无铁芯力矩电机和高精度旋转编码器，具有超高旋转精度和定位精度以及稳定的回转速度，主要应用于精密测试设备、半导体加工设备、光学零件加工设备等，可根据客户要求定制非标产品。
技术特点：
1. 采用超高精度气浮轴承，使转台具有旋转精度高、稳定性好、承载能力强、非接触、不磨损、长寿命的优点
2. 采用无铁芯力矩电机，最大限度降低电机对气浮主轴旋转精度的影响，从而确保整体转台系统的旋转精度。
3. 基于高分辨率的反馈精度、高精度气浮技术以及优异的控制算法，可实现超高定位精度和位置重复精度。
技术参数
|
型号 项目 |
ART100 |
ART150 |
ART200 |
|
台面直径mm |
100 |
150 |
200 |
|
高度mm |
130 |
150 |
170 |
|
中心孔mm |
25 |
30 |
50 |
|
定位精度 |
≤±3" |
||
|
重复定位精度 |
≤±1" |
||
|
最高转速rpm |
1000 |
||
|
额定输出扭矩Nm |
1.4 |
2.5 |
3.6 |
|
最大输出扭矩Nm |
3.9 |
10 |
15.5 |
|
径向回转误差um |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.15 |
|
轴向回转误差um |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.15 |
|
倾角回转误差 |
≤±0.5" |
||
|
轴向承载能力kg |
≥60 |
≥100 |
≥150 |
|
径向承载能力kg |
≥10 |
≥20 |
≥40 |
|
耗气量L/min |
≤130 |
≤150 |
≤180 |
|
工作气压Mpa |
0.4—0.8 |
||
|
重量kg |
6.5 |
14 |
29 |
- 上一篇：已经没有了
- 下一篇：已经没有了
