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圆柱度仪转台及静压系统的调整方法

更新时间:2022-03-11 14:41:06点击次数:2300次
转台是圆柱仪的核心部件之一,对它的主要要求是回转精度高,即: (1) 空载径向跳动不大于0.15μm; (2) 负载100kg偏置40mm,径向跳动不大于0.25μm; (3) 轴向跳动不大于0.2μm; 以上所谓空载和负载,是指装上调心台以后的情况。如果对转台主轴而言,还要考虑调心台本身的重量约80kg。对回转精度的影响因素,除零件本身的制造精度外,主要是静压系统各部分的压力及反馈薄膜厚度等。此外,为了保持长...

转台是圆柱仪的核心部件之一,对它的主要要求是回转精度高,即:

(1) 空载径向跳动不大于0.15μm

(2) 负载100kg偏置40mm,径向跳动不大于0.25μm

(3) 轴向跳动不大于0.2μm

以上所谓空载和负载,是指装上调心台以后的情况。如果对转台主轴而言,还要考虑调心台本身的重量约80kg。对回转精度的影响因素,除零件本身的制造精度外,主要是静压系统各部分的压力及反馈薄膜厚度等。此外,为了保持长时间的精度稳定性,防止温度对精度的影响,还必须控制油的温度。油的温度由冷冻机控制,要求输给转台的工作油的温度较机体温度低(0.5-0.7℃,误差±0.3℃。

在转台装配后,试车过程中,须进行油压及油温的调整。

1. 油压的调整

根据设计,油箱供油的压力Ps=1.5MPa,节流比1.7,则油腔压力为Po=0.926MPa。

调整时,首先将Ps调至1.5MPa,然后调整薄膜反馈阀节流间隙(约0.05mm),使油腔压力Po为(0.85-0.95)MPa左右。调试主要解决下列问题。

(1) 溢流阀与减压阀的压力差

若供油压力Ps压力表抖动,这是由于溢流阀与减压阀力差太小造成的。为了减少发热损失,希望溢流阀压力不要比减压阀压力(即供油压力Ps)高出太多。经试验,当此压力差为(0.4-0.5)MPa时,供油压力抖动现象基本消除(微小的抖动不影响仪器工作)。

(2) 找出Ps最佳值

据设计计算,Ps为1.462MPa。根据理论分析及试验,轴承油膜的刚度与压力Ps有关。一般说来,刚度高对提高回转精度是有利的。但刚度过高也有不利影响,其一,当刚度接近或达到临界刚度时,虽然刚度数值大,却不稳定,容易发生失稳现象;其二,为提高刚度,必须提高Ps,因而造成油箱发热过多。因此,在整机试车时,需试验Ps的数值。经试验,仪器的最佳Ps值为1.4-1.6MPa,取1.5MPa与设计相符。

2. 温度的控制

因为工作油液的温度要求控制在比仪器机体温度还低的水平上,所以没有自然散热,油箱的发热全部由制冷机吸收。据计算,油箱发热功率约为140W,制冷机的容量应选择大于210W。

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